产品详情:
概述:超高真空兼容的丝杆运动平台,在最小的高度、负荷高达几公斤的情况下提供长行程运动定位。采用“V”型滚轮导轨,金刚石修改正的丝杠和配件确保平滑的运动,精研螺母保证良好的稳定性,预紧力螺母消除间隙。
特点:LTVL/LTVH/LTXL/LTXH系列-真空高低温耐辐射步进电机运动平台(可定制)
行程: 50 to 250mm;(LTX系列25-85mm)
分别率:1um/步;
无回滞,刚性强;
承载能力:20kg;(LTX系列是50kg)
可直接堆叠 XYZ三轴平台
真空度:1 x 10-10 mBar;
温度范围: -65ºC 到 +175ºC
防辐射: 1 x 106 Gy ;
烘烤温度:200°C;
“V”型滚轮导轨
金刚石修正丝杠和相配的螺母
规格
单位
LTVL
LTVH
行程
mm
50/ 100 / 150 /200 /250
50/ 100 / 150 /200 /250
整步分别率
μm
5
1
最大速度
mm/s
15
4
推荐真空环境中速度
mm/s
2
0.8
重复定位精度
μm
1
0.2
水平负载能力
kg
20
20
负载力矩
Nm
<5
<5
轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A
kg
3
10
间隙
μm
忽略不计
忽略不计
转动, 俯仰 & 偏载 (无负载
μrad
<25
<25
Roll Compliance
μrad/Nm
33
33
Pitch & Yaw Compliance
μrad/Nm
33
33
直线度
μm
<1.3μm / 100mm
<1.3μm / 100mm
使用步进电机
D35.1
D35.1
真空度
mBar
1 x 10-10
1 x 10-10
最大恩度
°C
200
200
平均故障间隔时间
hrs
15,000
10,000
规格
单位
LTXL
LTXH
行程
mm
25 / 55 / 85
25 / 55 / 85
整步分别率
μm
5
1
最大速度
mm/s
15
4
推荐真空环境中速度
mm/s
2
0.8
重复定位精度
μm
1
0.2
水平负载能力
kg
50
50
负载力矩
Nm
<20
<20
轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A
kg
3
10
间隙
μm
忽略不计
忽略不计
转动, 俯仰 & 偏载 (无负载)
μrad
<25
<25
Roll Compliance
μrad/Nm
5
5
Pitch & Yaw Compliance
μrad/Nm
2
2
直线度
μm
<1.3μm / 100mm
<1.3μm / 100mm
使用电机
D35.1
D35.1
真空度
mBar
1 x 10-10
1 x 10-10
最大温度
°C
200
200
平均故障间隔时间
hrs
15,000
10,000